ООО Гуандун Сяовэй Нью Энерджи Технолоджи
Индустриальный парк Таймин, район Хуэйян, провинция Гуандун (150 метров к югу от Лижэнь-роуд)Двухзонная слайдерная система ПЭКВД (Плазменно-электрохимическое химическое осаждение в парах) при температуре 1200 °С
Артикул: XW-DSP-1200℃-PECVD;
Назначение: Двухзонная слайдерная система ПЭКВД (Плазменно-электрохимическое химическое осаждение в парах) при температуре 1200 °С;
Место производства продукта: Китай;
Срок изготовления и поставки: 15 дней;
Примечание: Фабрика XIAOWEI поддерживает изготовление под заказ (OEM).
Двухзонная слайдерная система ПЭКВД (Плазменно-электрохимическое химическое осаждение в парах) при температуре 1200 °С
Модель | XW – DSP – 1200℃ – PECVD – I | XW – DSP – 1200℃ – PECVD – II | XW – DSP – 1200℃ – PECVD – III | XW – DSP – 1200℃ – PECVD – IV |
Мощность | 3 кВт | 3 кВт | 4 кВт | 4 кВт |
Размер трубки печи (мм) | Диаметр 60 (наружный) × 1800 мм | Диаметр 80 (наружный) × 1800 мм | Диаметр 100 (наружный) × 1800 мм | Диаметр 120 (наружный) × 1800 мм |
Габариты (мм) | 1800 × 410 × 610 | 1800 × 410 × 610 | 1800 × 460 × 660 | 1800 × 460 × 660 |
Напряжение питания | 220 В | |||
Число фаз | Однофазное | |||
Режим управления | Управление температурой “Юдян” | |||
30 участков может использовать только ПИД – регулирование температуры. | ||||
Управление температурой FP93 (из Японии) | ||||
(Замена импортных приборов за дополнительную плату) | ||||
1. Управление программной температурой на 40 участках может быть разделено на 4, 2, 1 группу программ. Если программа разделена на четыре группы, то каждый программный сегмент состоит из 10 участков. | ||||
2. 6 групп ПИД – управления. Низкая, средняя и высокая температура могут иметь по одной группе ПИД, так что каждый сегмент может очень точно контролировать температуру. | ||||
Режим управления температурой | Интеллектуальное ПИД – управление | |||
Защита и индикация от перегорания | Да | |||
Защита от перегрева | Да | |||
Защита от перегрузки тока | Да | |||
Точность управления | ± 1 °С | |||
Триггер | Фазовый сдвиг триггер | |||
Силиконовый управляемый тиристор (СУТ) | 106 / 16E, Германия, Симон Канг | |||
Максимальная температура 1 – 2 температурных зон | 1200 °С | |||
Номинальная температура 1 – 2 температурных зон | 1150 °С | |||
Скорость нагрева | ≤ 30 °С/мин (Модификация доступна по запросу) | |||
Рекомендуемая скорость нагрева | ≤ 15 °С/мин | |||
Тип термопары | Тип К | |||
Длина нагрева 1 – 2 температурных зон | 205 мм | |||
Температура окружающей поверхности | ≤ 45 °С | |||
Плазменная радиочастотная мощность | Диапазон выходной мощности: 0 – 500 Вт | |||
Максимальная отраженная мощность | 10 Вт | |||
Частота сигнала | 13,56 МГц ± 0,005% | |||
Шум | < 30 дБ | |||
Метод охлаждения | Воздушное охлаждение | |||
Входное напряжение | 208 – 240 В, 50/60 Гц | |||
Основные параметры системы газоподачи GX | Стандартный диапазон: Контроллер потока протонов 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (Вы можете выбрать любую шкалу) | |||
Точность | ± 1,5% | |||
Падение давления | < 0,01 МПа | |||
Повторяемость | ± 0,2% F.S | |||
Максимальное рабочее давление | 3 МПа | |||
Система откачки VS – 0,1 | Питание: 220 В/380 В, 380 Вт | |||
Скорость откачки | 2 л/с | |||
Вакуумметр – резистивный | ZDR – I | |||
Диапазон измерения вакуума | 0,1 – 10⁵ Па | |||
Вакуумный насос | VRD – 8 | |||
Корругатный шланг | KF25×1000 мм | |||
Вакуумная система | 10⁻¹ Па |